超高真空泵的分类有哪些
发布时间:2023-10-25 01:08
超高真空泵是一种高性能的真空设备,广泛应用于科研、半导体、光学等领域。根据其工作原理、结构、抽气速度和使用环境等不同因素,可以将超高真空泵分类为多种类型。本文将介绍超高真空泵的主要分类及其特点。
离子泵类
离子泵是将气体分子电离后,利用电场力加速离子运动,形成气体分子流动的真空泵。它主要由离子源、收集极和功率供应器三部分组成。离子泵具有抽气速度快、脱气效果好、净化程度高等优点,可以达到极高的真空度。
离子泵主要分为吸附离子泵、场离子泵、倍增离子泵等。其中吸附离子泵广泛应用于真空电子器件、光学器件、半导体等领域;场离子泵则适用于加速的再生燃气透平器、微波离子源、宇航器透平等;倍增离子泵则适用于需要极高真空环境的超高真空实验。
分子泵类
分子泵是利用气体分子在高速旋转、挤压下,从一个容积较大的区域抽出,形成低压区域。它的抽气速度高、净化效果好、真空度高,适用于高真空下的脱气。
分子泵主要分为扇形分子泵、螺旋线分子泵、回旋式分子泵等。扇形分子泵适用于导热油处理、真空贴合、真空干燥等行业;螺旋线分子泵适用于真空冶炼、真空热处理、真空脱盐等领域;回旋式分子泵适用于超高真空离子束蚀刻系统等高端领域。
扩散泵类
扩散泵是一种利用气体分子的扩散运动,来实现气体分子排出的真空泵。扩散泵具有抽气速度快、压缩比高、减震性好等优点,被广泛应用于真空脱气、真空回收等行业领域。
扩散泵主要分为油封扩散泵、干式扩散泵、涡电流扩散泵等。油封扩散泵广泛应用于真空冶炼、真空热处理、真空卡钳及真空炉等行业;干式扩散泵则应用于半导体、LED等电子行业;涡电流扩散泵适用于大型等离子体装置、核聚变等领域。
栅极泵类
栅极泵是一种使用栅极结构,通过劈裂气体分子实现真空泵抽气的一种泵类。它具有抽气速度快、功率消耗低、减震性高等特点。栅极泵被广泛应用于真空脱气、真空干燥、真空冶炼等领域。
栅极泵主要分为连续式栅极泵、脉冲式栅极泵、旋气螺杆式栅极泵等。连续式栅极泵适用于真空切割机、真空回收、真空焊接等领域;脉冲式栅极泵适用于真空脱气、真空蓄能器、超高真空实验等行业;旋气螺杆式栅极泵则可用于真空冶炼、真空干燥、真空传送等领域。
超高真空泵的分类非常多,每一种泵类都有本身独特的特点和优势。在实际应用中,需要根据具体需要和使用环境的要求,选择合适的超高真空泵,以满足我们的需求。